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來源: | 發布日期:2022-08-12

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優點:膜厚可控性和重複性好;與基片的附著力強;膜層純度高質量好;可製備與靶材不同的物質膜。

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缺點:成膜速度比蒸發麻豆专区1区二区低;基片溫度高;易受雜質氣體影響;裝置結構較複雜。

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