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PVD真空麻豆专区1区二区膜厚的測試方法
來源: | 發布日期:2021-10-16

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測試的目的:檢驗膜層的厚度是否達到規定的標準和要求。

測試的方法:球磨測試厚度,破壞性橫切麵測試法

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X-Ray測試厚度,熒光X-射線測厚法

球磨,X-Ray兩種測試方法的區別:

1. 球磨橫切麵法可以檢測金屬層(Au、Ti、Zr、  Cr)和氧化物覆蓋層(TiN,TiCN、 ZrN, CrN)厚度;屬破壞性測試;

2.熒光X-Ray測厚法,檢測金屬層(Au、Ti、 Fe、 Cu、Zr、Cr等)厚度,無破壞性。

判定標準:膜層級別厚度標準(AAA、 AA、A、C、S)在行業中逐漸形成。

依據標準:球磨測試法,ISO1463  ( ASTMB487);  X-Ray測厚法:ISO3497(ASTMB568)

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