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來源: | 發布日期:2022-05-04

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濺射靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料,具有高純度、高密度、多組元、晶粒均勻等特點,一般由靶坯和背板(或背管)組成。按使用的原材料材質不同,濺射靶材可分為金屬/非金屬單質靶材,如矽靶材、铌靶材、鋁靶材等;合金靶材如鎢合金靶材、鋅鋁合金靶材等;化合物靶材如ITO靶材等。

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